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1.    概述
高效過濾器及其安裝如存在缺陷，如過濾器本身有小孔洞或者安裝不嚴密形成微小裂縫，都會導致達不到預定的凈化效果。因此，高效過濾器安裝或更換后，必須對過濾器和安裝連接處進行檢漏。

2.    檢漏目的
通過測試高效過濾器的泄漏量，發(fā)現(xiàn)高效過濾器及其安裝的缺陷所在，以便采取補救措施。

3.    檢漏范圍
潔凈區(qū)、層流工作臺以及設備上的高效過濾器等。

4.    檢漏方法
常用的是DOP法檢漏（即采用DOP溶劑作為塵源，與氣溶膠光度計配合檢漏），也可用塵埃粒子計數(shù)器掃描法來檢漏（即采用大氣塵作為塵源，與粒子計數(shù)器配合檢漏）。由于粒子計數(shù)器讀數(shù)為累積讀數(shù)，不利于掃描，巡檢速度慢；另外，在被測高效過濾器上風側(cè)，往往大氣塵濃度較低，需補充發(fā)煙才易發(fā)現(xiàn)泄漏，粒子計數(shù)器法檢漏的的這些不足DOP法恰恰可以彌補，故國外廣泛采用DOP法檢漏。

5.    DOP法檢漏

5.1.    工作原理
在被檢測高效過濾器上風側(cè)發(fā)DOP氣溶膠作為塵源（DOP即鄰苯二甲酸二辛酯，分子量390.57，噴霧后粒子呈球形狀），在下風側(cè)用光度計進行采樣，采集到的空氣樣品通過光度計的擴散室，含塵氣體經(jīng)過光度計產(chǎn)生的散射光由光電效應和線性放大轉(zhuǎn)換為電量，并由微安表快速顯示，便可測得氣溶膠的相對濃度。 DOP試驗實際測得的是高效過濾器的穿透率。

5.2.    材料與儀器

①    塵源（DOP溶劑）；

②    DOP發(fā)生器[為產(chǎn)生煙霧的裝置，DOP溶劑倒入發(fā)生器容器后，在一定壓力或加熱條件下產(chǎn)生氣溶膠煙霧被送入高效過濾器上風側(cè)（對DOP液體加熱，形成 DOP蒸汽，蒸汽在特定的條件下冷凝成微小液滴，去掉過大和過小的液滴，僅留下0.3μm左右的顆粒，霧狀DOP進入風道）；

③    氣溶膠光度計（測定和顯示氣溶膠濃度的儀器，應注明校驗有效期，必須是校驗合格且在有效期內(nèi)的方可使用）；

④    氮氣；

⑤    環(huán)氧樹脂硅膠；

⑥    備用的所需型號的高效過濾器

5.3.    檢漏試驗工作程序

5.3.1.    檢漏準備

準備好檢漏所需器材與待檢區(qū)域的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風管道平面布置圖，并通知凈化空調(diào)設備公司于檢漏當日到場進行打膠及更換高效過濾器等操作。

5.3.2.    檢漏操作

①    檢查氣溶膠發(fā)生器中DOP溶劑的液位是否高于低液位，不足則應添加。

②    連接氮氣瓶與氣溶膠發(fā)生器，開啟氣溶膠發(fā)生器的溫度開關(guān)，至紅燈轉(zhuǎn)換為綠燈，即表示到溫（約390～420℃）。

③    將測試軟管的一端唄在氣溶膠光度計的上游濃度測試口，另一端置于被檢測高效過濾器的進風側(cè)（上游側(cè)） [系統(tǒng)檢漏可直接把DOP煙霧放入空調(diào)器內(nèi)（注意不要被空調(diào)器內(nèi)的過濾器吸附了）；若DOP發(fā)生器較小，達不到規(guī)定的濃度，可放在被測高效過濾器的靜壓箱內(nèi)，層流工作臺可直接放入風機吸入口]，打開光度計開關(guān)，將測試值調(diào)節(jié)至“100”。

④    打開氮氣開關(guān)，壓力控制在0.05～0.15Mpa，緩慢打開氣溶膠發(fā)生器的油閥，控制光度計的測試值在10～20，待測試值穩(wěn)定后輸入該上游測得濃度，即可進行后續(xù)的掃描巡檢操作。

⑤    將測試軟管的一端唄在氣溶膠光度計的下游濃度測試口，用另一端即采樣頭掃描過濾器的出風側(cè)以及支架，采樣頭離過濾器距離約3～5cm，沿著過濾器內(nèi)邊框等來回掃描，巡檢速度在5cm/s以下，測試范圍包括過濾器的濾材、濾材與其框架內(nèi)部的連接、過濾器框架的密封墊和過濾器組支撐框架之間的連接、支撐框架和墻壁或頂棚之間的連接，以檢查過濾器介質(zhì)中的小針孔和其它損壞、框架密封、墊圈密封以及過濾器構(gòu)架上的漏縫。

⑥    光度計上的儀表指示值即為高效過濾器的穿透率。當高效過濾器的效率在可接受標準以下，即用環(huán)氧樹脂硅膠堵漏或緊固螺栓（必要時暫停發(fā)煙更換高效過濾器），然后再進行掃描巡檢，直至儀表指示值在可接受范圍內(nèi)。

⑦    檢漏應及時填寫記錄，用環(huán)氧樹脂硅膠堵漏的應用簡圖標示堵漏點。

5.3.3.    可接受標準

100,000級潔凈區(qū)高效過濾器的效率應＞95%（氣溶膠光度計儀表指示值小于5）；

10,000級潔凈區(qū)高效過濾器的效率應＞99.97%（即氣溶膠光度計儀表指示值小于0.03）。

6.    說明

6.1.    高效過濾器安裝或更換后必須進行DOP檢漏；10,000級以上潔凈區(qū)高效過濾器日常檢漏一般每年一次（無菌區(qū)宜半年一次）；潔凈區(qū)日常監(jiān)控中塵粒數(shù)、沉降菌、風速等出現(xiàn)顯著異常時，也應檢漏。

6.2.    作為塵源的DOP中含苯環(huán)，人們懷疑它有致癌性，美國已找出了一種叫做Emery 3004的替代物，雖然塵源不同但檢漏的原理與方法完全相同。
只有對超凈工作臺高效過濾器經(jīng)過嚴格的檢測合格后方可投入使用，這樣才能保證在生產(chǎn)、檢驗過程中做到嚴格把關(guān)。