光學微電子凈化工程一般包括
來源：發表時間2018-2-6 17:17:47
光學微電子凈化工程一般包括：
1、 潔凈生產區
2、 潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）
3、 管理區（包括辦公、值班、管理和休息）
4、 設備區（包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房）
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